反射镜
| 材料 | 紫外级熔融石英 |
| 尺寸公差 | +0.0/-0.127 |
| 波长 | 255~370nm |
| 反射率 | 99.5% |
| 平行度 | <1 arc minute |
| 光洁度 | 20-10 scratch/dig |
| 有效口径 | Central 90% |
| 面型 | λ/8@633nm |
| 激光损伤阈值 | 20~40J/cm² @1064 nm, 20 ns, 20 Hz |
| 反射镜 | 材料 | 尺寸（MM） | 厚度（MM） | 入射角（°） |
| MIR1201-UV | 紫外级熔融石英 | 12.7 | 3 | 0 |
| MIR1202-UV | 紫外级熔融石英 | 12.7 | 5 | 45 |
| MIR2501-UV | 紫外级熔融石英 | 12.7 | 3 | 0 |
| MIR2502-UV | 紫外级熔融石英 | 12.7 | 5 | 45 |
HR@257nm AOI=0°
HR@352nm AOI=0°
